SVA-V型不锈钢硅烷燃烧塔为我公司专利产品（专利号：201820899876.8），作用是处理PECVD尾气中的硅烷和氨气，该废气处理设备已在多个工程项目上成功运行。
工作原理是硅烷与输入的压缩空气或新风补气口补入的空气接触而自燃或发生氧化反应，反应后生成大量的二氧化硅粉尘；氨气采用水吸收形成氨水。一般设备运行二个月左右需清理二氧化硅粉尘，八个月至一年需清洗设备内部的吸收填料、收水填料及喷头。
粉尘吹扫HCR-A-2型硅烷燃烧塔是双气流进气设计，该设计主要便利可不停机清渣保养，当设备运行一个月后，应打开左、右气流上的粉尘吹扫口进行清渣。
硅烷氧化燃烧后生成的二氧化硅粉尘大部分会沉积在集尘箱内，打开下面灰桶即可清理。
图片示例
![硅烷燃烧筒]( "硅烷燃烧筒")