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硅烷废气处理工艺

日期: 2018-01-08
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1)工艺设备图片

硅烷废气处理工艺

2)工艺流程图

3)工艺流程说明

光伏电池生产过程中PECVD尾气中含有硅烷和氨气,采用高效硅烷燃烧筒+防爆除尘器+洗涤塔的处理工艺。首先在燃烧桶中将残余的硅烷通入压缩空气燃烧,后面进入防爆除尘器去除粉尘;残余的氨气进入后面的洗涤塔,通过适量添加硫酸去除。

4)技术特点

l  硅烷燃烧筒结构上主要由不锈钢壳体、燃烧系统和清渣系统组成。在进气方便采用压缩空气加新风进气口双进风形式,提高产品运行效率和可靠性。

l  内部燃烧室采用特殊的泄压装置,即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作,同时配备了氮气入口,更加大了设备的安全性。

l  在粉尘收集方面采用静压沉积的方法,沉积下来的粉尘通过排渣口排出,这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。

l  在喷淋系统方面,采用循环水泵与自动补水相结合的方法,运行维护简单方便。

l  经权威部门检测,本工艺可使硅烷(SiH4)去除率≥99.99%,氨气(NH3)以及其他水溶性的净化率达到95%。

l  我公司已取得了硅烷燃烧筒设计专利。

5)应用领域

应用行业:半导体 光伏工艺机台及毒害气体间歇性挥发及移动场所的废气收集及净化处理领域

   典型客户:中节能  隆基乐叶 中来光电  陕西有色 通威 英利 晶澳


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